환경부가 한국수자원공사, 한국환경산업기술원과 함께 '고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발’ 사업에 착수해, 반도체 사업의 필수원료인 초순수(Ultra Pure Water) 생산기술의 국산화를 본격적으로 추진한다고 14일 밝혔다.
'고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발’ 사업은 국산기술을 활용해 반도체 공정 등에서 사용되는 고순도 공엽용수를 생산 및 공급하는 기술개발(R&D)사업으로, 총 연구비 480억 원을 들여 2025년까지 진행될 예정이다.
그동안 우리나라는 반도체 사용 용수의 약 50%를 차지하는 초순수의 생산 및 공급을 일본 등 해외업체에 의존해왔다.
특히 공정설계, 초순수 배관, 수처리 약품 등을 일본에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 매우 취약한 상황이다.
'초순수'란 반도체의 생산 단위공정 중 나오는 부산물, 오염물 등을 세정할 때 쓰이는 필수 공업용수로, 초미세회로로 구성된 반도체를 세척해야 하기 때문에 총유기탄소량(TOC)의 농도가 ‘10억분의 1(ppb)’ 이하일 정도로 고순도를 유지해야 한다.
이에 환경부는 올해부터 고순도 공업용수 생산을 위한 핵심부품인 자외선 산화장치(UV)와 용존산소 제거용 탈기막의 국산화 기술개발에 들어갔다.
한국수자원공사도 하루 2,400톤의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 실제 반도체 공급업체에 2025년까지 설치·운영할 계획이다.
이를 위해 수요처와 협의 중에 있으며, 구축 및 활용계획 등을 검토해 올해 내로 실증플랜트를 설치할 대상지를 확정할 방침이다.
환경부는 초순수 생산 시설이 완료되면 반도체 설계·시공·운영 단계별로 쓰이는 초순수 공정을 최대 60%까지 국산화할 수 있을 것으로 기대했다.
뿐만 아니라 공공기간과 관련업계 역시, 2025년까지 △초 저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 △초 저농도 용존산소 제거용 탈기막 △고순도 공업용수 설계-시공-운영 통합 △고순도 공업용수 공정 및 수질 성능평가 △반도체 폐수를 이용한 고순도 공업용 원수 확보 등 5개의 세부과제별 기술개발을 추진한다고 전했다.
환경부 김동진 수자원정책관은 "고순도 공업용수는 반도체뿐만 아니라 제약·바이오·정밀화학 등 고부가가치 산업에서 수요가 점차 확대되고 있다”며, "이번 기술개발 사업이 차질없이 이행될 경우 해외 기술 의존도 탈피와 함께 국내 수처리 업계의 해외시장 진출 기반을 마련하는 발판이 될 것"이라고 말했다.
